半導体製造装置 ソフトウエア構成 事例
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システム事例
製造装置システムの制御システムは、ベンダー制御ユニット以外は標準化され標準プラットホームの構成になっています。
このプラットホームに搭載されたベンダー制御ユニットの処理ソフトウエアはＰＣ上の’Ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ Ｔｏｏｌ’によって定義され制御システムで処理されます。
